MODELL | HY-1214 | HY-1416 | HY-1618 | HY-2020 |
KAMMARSTORLEK | Ø1200*1400mm | Ø1400*1600mm | Ø1600*1800mm | Ø2000*2000mm |
KAMMARSTRUKTUR | Vertikal enkeldörr, horisontell enkeldörr, vertikal dubbeldörr | |||
BELÄGGNINGSMETOD | Jon med bias-teknik | |||
ULTIMAT VAKUUM | 8,0*10-4Pa (tom last) | |||
VAKUUM TID | Töm last från atmosfären till 5.0E-2 mindre än 15 min | |||
FÖRBRUKNINGSMATERIAL | Titan, krom, zirkonium, järn, titan och aluminiumlegering, alla typer av MF och DC sputtering mål. | |||
BELÄGGNINGSFÄRG | genomskinlig, guld, silver, roséguld, svart, mörksvart, grön, blå, lila, regnbåge, TiN, ZrN, TiAlN, TiC, TiCN, CrN, Al2O3, etc | |||
KONTROLL METOD | Helautomatisk, halvautomatisk, manuell, PLC-pekskärm | |||
SPECIELLA KRAV | Anpassad |