MODELL | HY-2225 | HY-2030 | HY-2240 | HY-2245 |
KAMMARSTORLEK | Ø2200*2500mm | Ø2000*3000mm | Ø2200*4000mm | Ø2200*4500mm |
KAMMARSTRUKTUR | Vertikal enkeldörr, horisontell enkeldörr, vertikal toppdörr | |||
BELÄGGNINGSMETOD | Jon med bias-teknik | |||
ULTIMAT VAKUUM | 8,0*10-4Pa (tom last) | |||
VAKUUM TID | Töm last från atmosfären till 5.0E-2 mindre än 15 min | |||
FÖRBRUKNINGSMATERIAL | Titan, krom, zirkonium, järn, titan och aluminiumlegering | |||
BELÄGGNINGSFÄRG | genomskinlig, guld, silver, roséguld, svart, grön, blå, lila, regnbåge, TiN, ZrN, TiAlN, TiC, TiCN, CrN, Al2O3, etc | |||
KONTROLL METOD | Helautomatisk, halvautomatisk, manuell, PLC-pekskärm | |||
SPECIELLA KRAV | Anpassad |