Förverkliga miljöskyddskrav med
avancerad teknik och lösa bristerna med vattenelektroplätering.
Ursprunget till multi-arc jon vakuumbeläggningsmaskin
För närvarande använder de flesta av de mekaniskt funktionella hårda filmerna (särskilt filmerna som används för skärande verktyg) i världen katodisk bågavsättningsteknik. Applikationsprestanda; speciellt det inhemskt tillverkade partikelproblemet med katodbågsavsättningsutrustning är särskilt allvarligt. Införandet av magnetisk filtreringsteknik på grundval av denna teknik kan lösa problemet med partiklar avsatta på ytan, men deponeringseffektiviteten är bara cirka 1/10 av originalet, och deponeringsområdet är litet, så att produktionscykeln är lång, tillverkningskostnaden är hög och den är inte lämplig för massbeläggning. produktionsapplikationer. Ytan på filmen som framställts av magnetronförstoftningstekniken är slät och ömtålig, avsättningshastigheten är måttlig och filmen kan deponeras jämnt i ett stort område. Emellertid har magnetronförstoftningstekniken också en låg joniseringshastighet (i allmänhet 10%), och den preparerade filmen är inte lika bra som filmen som framställts av katodbågsteknologin vad gäller hårdhet, slitstyrka och bindningskraft; kemisk reaktiv beläggning utförs. (såsom TiN, TiO2), på grund av den låga joniseringshastigheten och dåliga reaktiviteten hos metallpartiklar, måste reaktiv gas införas i överskott, vilket orsakar förgiftning (kemisk reaktion) av magnetronens målyta, vilket orsakar en serie laviner såsom en skarp minskning av avdunstningshastigheten. Som ett resultat är den magnetronförstoftande reaktiva beläggningen instabil och okontrollerbar.
Därför finns det multifunktionella jonvakuumbeläggningsmaskiner på marknaden. Genom ett stort antal experiment och industriella tillämpningar har projektet kommit fram till följande slutsatser:
(1) Den designade multifunktionella jonbeläggningsmaskinen med flera beläggningstekniker är framgångsrik, och den omfattande prestandan hos det etablerade beläggningssystemet har en ledande position i Kina.
(2) Utrustningen kan förbereda diamantliknande film och metallkväve (eller kol) sammansatt flerskiktsfilm med slät och tät yta, slät och delikat yta och utmärkt prestanda i stor yta och låg kostnad.
(3) Användningen av ett speciellt mellanliggande övergångsskikt med flerskiktsgradient och dopningsteknik minskar den inre spänningen, förbättrar film/substratbindningskraften och bidrar till tillväxten av filmskiktet (upp till 6 mm tjockt).
(4) Den förberedda DLC-filmen har utmärkta omfattande egenskaper: hårdhet>20GPa (upp till 37,25GPa), justerbar tjocklek (upp till 6 mm tjock), film-/basbindningskraft>50N (upp till 100N), friktionskoefficient <0,2, filmen är slät och delikat.
(5) Den utvecklade matrisen/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC flerlagers slitstarka och värmebeständiga självsmörjande beläggningen har goda omfattande egenskaper: hårdheten är upp till 28,7GPa, tjockleken är justerbar från 1-4 mm, och filmen /basbindningskraften är större än 70N och friktionskoefficienten är mindre än 0,2.
(6) Den utvecklade slitstarka och antifriktionsfilmen har framgångsrikt applicerats på en mängd högprecisionsformar och precisionsnyckelkomponenter. Appliceringsresultaten visar att filmskiktets ytförstärkande effekt är anmärkningsvärd, vilket avsevärt kan förbättra produktkvaliteten och livslängden.
Multibågjonplätering introducerar olika gasurladdningslägen i området för ångavsättning under vakuumsituation. Hela ångavsättningsprocessen utförs i plasmaprocess. Det kan beläggas inte bara på ytan av metallprodukter utan också på ytan av icke-metallprodukter. Den kan pläteras med metallfilm, titannitrid, titankarbid, zirkoniumnitrid, kromnitrid, titanoxid och andra filmer.