MODELL | HY-1214 | HY-1416 | HY-1618 |
KAMMARSTORLEK | Ø1200*1400mm | Ø1400*1600mm | Ø1600*1800mm |
KAMMARSTRUKTUR | Vertikal enkeldörr | ||
BELÄGGNINGSMETOD | Jon med bias-teknologi och sputtering | ||
ULTIMAT VAKUUM | 8,0*10-4Pa (tom last) | ||
VAKUUM TID | Töm last från atmosfären till 5.0E-2 mindre än 15 min | ||
FÖRBRUKNINGSMATERIAL | Titan, krom, zirkonium, järn, titan och aluminiumlegeringar, alla typer av MF och DC sputtringsmål. | ||
BELÄGGNINGSFÄRG | genomskinlig, guld, silver, roséguld, svart, mörksvart, grön, blå, lila, regnbåge, TiN, ZrN, TiAlN, TiC, TiCN, CrN, Al2O3, etc | ||
KONTROLL METOD | Helautomatisk, halvautomatisk, manuell, PLC-pekskärm | ||
SPECIELLA KRAV | Anpassad |