För att uppnå det ideala vakuumet måste vakuumbeläggningsmaskinen vara utrustad med ett vakuumpumpsystem, då är diffusionspumpen en av de väsentliga pumpkomponenterna i vakuumbeläggningsmaskinen. Pumpunderhåll är viktigt. Idag kommer redaktören för Huicheng Vacuum att reda ut underhållsstegen för diffusionspumpen för vakuumbeläggningsmaskinen i detalj. Jag hoppas att det kan hjälpa dig:
1. Under drift av vakuumbeläggningsmaskinen måste diffusionspumpens kylvatten hållas fritt. Efter att uppvärmningen har stoppats måste kylvattnet stängas av efter att pumpens arbetsvätska har kylts ned helt.
2. När diffusionspumpen slutar fungera bör det noteras att vakuumtillståndet ska bibehållas i pumpen för att undvika försämring av pumpoljan.
3. Gasen som ska pumpas ska vara torr, icke-korrosiv och dammfri.
4. Om diffusionspumpen inte används tillfälligt, bör den hållas i vakuum under lagring för att undvika förorening av pumpolja och korrosion av olika delar och blåsa ut det kvarvarande vattnet i kylvattenmanteln. Rumstemperaturen för att hålla lokalen bör vara mellan 10-40 grader Celsius.
5. Diffusionspumpens prestanda kommer gradvis att försämras efter långvarig drift och bör kontrolleras regelbundet. Såsom: om pumpoljan reduceras eller oxideras, tanka eller byt ut den enligt motsvarande krav; delar och pumpkammare rengörs först med flygbensin, skrubbas sedan med aceton och torkas vid 80-100 grader Celsius eller torkas med en hårtork . Efter behandlingen, montera dem i ordning, håll pumpkärnan och pumpens botten vertikala och koncentriska med pumphåligheten och justera munstyckenas mellanrum på alla nivåer enligt de ursprungliga kraven.
6. Efter att vattnet har avdunstat och torkat, installera pumpkärnan, tillsätt ny diffusionspumpolja, sätt tillbaka den i kroppen, anslut vattenröret och installera den elektriska hällen, sedan kan den startas om.
7. Var uppmärksam på läckagedetektering innan du startar om maskinen. Metoden är: starta underhållspumpen, stäng dörren till vakuumkammaren, och efter några minuter, observera om vakuumgraden är 6*10 0 Pa, annars gör en läckagedetektering, kontrollera om tätningsgummiringen saknas vid anslutningen, eller så är tätningsringen krossad. Uppvärmning kan endast göras efter att den dolda faran för luftläckage har eliminerats, annars kommer diffusionspumpoljan att brinna ut och inte gå in i arbetstillståndet.
Under driften av vakuumbeläggningsmaskinen, även om underhållet av diffusionspumpen är väsentligt, är vakuumbeläggningsmaskinen sammansatt av många komponenter, och fel på en komponent kommer direkt att påverka den normala driften av vakuumbeläggningsmaskinen. Underhållet av diffusionspumpen är viktigt, och underhållet av andra komponenter är också oumbärligt.