Förångningsvakuumbeläggningsmaskin och introduktion av fysikalisk princip- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

avdunstning vakuumbeläggningsmaskin och fysikalisk principintroduktion

Förångningsvakuumbeläggningsmaskinen består huvudsakligen av en vakuumkammare och ett vakuumpumpsystem. Vakuumkammaren innehåller en förångningskälla (dvs en förångningsvärmare), ett substrat och en substrathållare, en substratvärmare, en strömkälla, en förångningsbåt och en elektrodstav. Vakuumsystemet inkluderar grovpumpning, mellanpumpning, finpumpning etc. inklusive mekanisk pump, Roots-pump, diffusionspump eller molekylpump.

Beläggningsmaterialet placeras i förångningskällan i vakuumkammaren. Under högvakuumförhållanden värms förångningskällan för att förånga den. När den genomsnittliga fria vägen för ångmolekylerna är större än den linjära storleken på vakuumkammaren, kommer filmångans atomer och molekyler att avdunsta från förångningskällan. Efter att källans yta försvunnit kolliderar den sällan och hindras av andra molekyler eller atomer och kan direkt nå ytan av substratet som ska pläteras. På grund av den låga temperaturen hos substratet kondenserar ångpartiklarna i filmmaterialet på det för att bilda en film.

För att förbättra vidhäftningen mellan de förångade molekylerna och substratet kan substratet aktiveras genom lämplig uppvärmning eller jonrening. Den fysiska processen för vakuumförångningsbeläggning från materialavdunstning, transport till avsättning och filmbildning är som följer:

(1) Använd olika metoder för att omvandla andra former av energi till värmeenergi, värma filmmaterialet för att avdunsta eller sublimera och bli gasformiga partiklar (atomer, molekyler eller atomgrupper) med en viss energi (0,1~0,3eV):

(2) De gasformiga partiklarna lämnar membranmaterialets yta och transporteras till ytan av substratet i en rak linje med en avsevärd rörelsehastighet utan kollision;

(3) De gasformiga partiklarna som når ytan av substratet kondenserar och bildar kärnor och växer till en fast film;

(4) Atomerna som utgör den tunna filmen är omarrangerade eller kemiskt bundna.

Den dagliga vakuumbeläggningsmaskinen använder förångningsteknik för att belägga aluminium, magnesiumfluorid, guld, silver, etc., eftersom de har fördelen med låg smältpunkt, vilket är bekvämt för snabb avdunstning och sublimering.